Les réacteurs standard de Boréal Plasmas

Le Réacteur Diamant 7030

Conçu en collaboration avec le CNRS pour les dépôts de couche diamant, le réacteur Diamand 7030 convient à de nombreuses autres applications sur des substrats de 100mm.

Le substrat peut être chauffé jusqu'à 800°C.

 

 

Le Réacteur de Pulvérisation 7050

Avec ses 12 applicateurs, ses 7 cibles de pulvérisation et sa gamme de porte substrats adaptée à différentes pièces, ce réacteur compact est le mieux adapté aux travaux de recherche.

Les options prévidage et le sas permettent un gain de temps du cycle de mise sous vide.

 

Les composants fournis par Boréal Plasmas

Moderniser les réacteurs existants

Plusieurs centaines d'applicateurs plasma micro-ondes en service dans des laboratoires ou sur des équipements industriels témoignent de la maturité de la technologie Boréal Plasmas.

En complément à ses applicateurs, Boréal Plasmas vend des composants destinés à moderniser des réacteurs existants:

  •   Générateurs micro-ondes
  •   Guide d'onde,
  •   Alimentation de polarisation,
  •   Porte cibles,
  •   Cibles de pulvérisation (photo),
  •   Porte substrats polarisables et thermostatés
  •   Circuit de gaz,
  •   Capteur de mesure de la densité des plasmas.
Cibles de
pulvérisation