La technologie Plasma par micro-ondes®

 

L'énergie du plasma est apportée par des sources micro-ondes comparables à celles utilisées dans les fours domestiques.

En collaboration avec les équipes de recherche du CNRS, BORÉAL Plasmas a développé les premières sources.

Ces sources utilisent le principe de la résonance cyclotronique électronique (RCE ou DECR en anglais).

 

Les applicateurs

Des éléments unitaires appelés applicateurs magnétiques micro-ondes génèrent le plasma (ou plus communément Crayons et parfois Antennes).
 

Chaque applicateur se présente sous la forme d'un tube qui permet la propagation de l'énergie micro-ondes sans perte vers l'aimant.

La juxtaposition de plusieurs de ces applicateurs permet d'adapter la surface de plasma nécessaire aux dimensions des pièces à traiter.

<< Vus au travers d'un hublot en verre,
40 applicateurs en fonctionnement
dans de l'azote (photo CNRS).



 
>> Exemples d'applicateurs
micro-ondes de différentes
dimensions.

Un applicateur standard, avec, à gauche, l'aimant placé sous vide,
au centre la traversée de l'enceinte et à droite l'entrée
des micro-ondes et le circuit d'eau de refroidissement.