Contraintes industrielles

de l'utilisation du plasma froid

 

Adaptation sur machine

Ces sources de plasma se montent aisément sur la plupart des machines de dépôt que ce soit de pulvérisation, d'évaporation ou de CVD. Ces techniques sont compatibles avec des procédés de flux par défilement ou en rotation et donc dans des processus industriels.

 

Gamme de Pression étendue

Le savoir-faire du travail sous vide est aujourd'hui totalement maîtrisé, et n'est donc plus une contrainte. Il ne pénalise pas ou très peu les temps de cycle. Notons que la gamme de pression de travail des applicateurs plasma est étendue (de 0,06 mTorr à 60 mTorr).

 

Large gamme de procédés applicables

Les applicateurs micro-onde permettent de faire des traitements chimiques ou physiques efficients.